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一种多工位晶圆烘烤装置，它包括加热器、晶圆传输手臂、多工位晶圆中转承载台、晶圆提升机构。所述晶圆传输手臂将晶圆传输转移至多工位晶圆中转承载台上，所述多工位晶圆中转承载台旋转将晶圆转移至晶圆提升机构上方，所述晶圆提升机构抬升并物理接触晶圆底面...
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