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一种集成电路制造方法,包括:接收具有两个邻接区块的一目标集成电路设计布局,两个邻接区块中的每一个具有根据一图案间距间隔开的目标图案,两个邻接区块具有不同的图案间距;于目标图案之间的间隔中填充芯轴图案化候选区;以一第一颜色以及一第二颜色着色芯...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种集成电路制造方法,包括:接收具有两个邻接区块的一目标集成电路设计布局,两个邻接区块中的每一个具有根据一图案间距间隔开的目标图案,两个邻接区块具有不同的图案间距;于目标图案之间的间隔中填充芯轴图案化候选区;以一第一颜色以及一第二颜色着色芯...