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本发明涉及用于EBR的卡盘和用于在EBR之前使晶片居中的方法。用于在EBR处理期间支撑晶片的卡盘包括：可旋转中心毂，其具有从其向外延伸的多个支撑臂，支撑臂的端部上的支撑销，延伸穿过支撑销上表面的气体通道、和支撑臂中的配置为向气体通道供应气体...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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