专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
应用材料公司
>
用于在基板上沉积材料的沉积装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载用于在基板上沉积材料的沉积装置的技术资料
文档序号:16542308
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于在基板上沉积材料的沉积装置(300)。沉积装置(300)包括第一处理腔室(310)和第二处理腔室(320);位于第一处理腔室(310)内的至少一个第一沉积源(311)和位于第二处理腔室(320)内的至少一个第二沉积源(321);和至...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。