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一种聚四氟乙烯与氧化铝原子层复合减反膜的制备方法技术
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一种聚四氟乙烯与氧化铝原子层复合减反膜的制备方法,该方法首先采用电子束蒸镀方法,在透明或半透明的基底上沉积一层致密聚四氟乙烯层,然后再沉积多孔聚四氟乙烯纳米棒层,得到双层聚四氟乙烯膜;再将获得的双层聚四氟乙烯膜放入原子层沉积设备中,沉积一层...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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