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本发明是关于一种低废气性聚胺基甲酸酯，其是用于例如微影术时必须将污染物维持在非常低含量的应用。具体而言，该聚胺基甲酸酯是基本上不含有含硅物质，其在制造电子装置时存在特定污染问题。该聚胺基甲酸酯可在过滤器组装中、或在制造电子组件的环境中用作为...
该专利属于恩特格林斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格林斯公司授权不得商用。

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