本文描述用于气体中微量酸性或碱性气载分子污染物的不含液体阱。在本文所述的本发明的一种型式中，该不含液体阱包含外壳，其包含入口及出口；在该入口与该出口之间的流动路径；及刚性烧结亲水性材料，其位于该入口与该出口之间的该流动路径中且密封在该外...

系统、方法和组件包括用于运输、存储和处理数据存储磁盘或其他磁盘形物品的改进的通用磁盘容器；装载磁盘的磁盘装运系统和方法允许库存最少数量组件同时仍允许在容器中包装和装载不同厚度磁盘和不同容量磁盘；组件呈现通用性同时仍最小化微粒产生、磁盘损...

根据本发明之一具体实例，提供一种静电吸盘。该静电吸盘包含一电极及一表面层，该表面层由该电极中之一电压启动以形成一电荷以将一基板静电夹持至该静电吸盘，该表面层包括一电荷控制层，该电荷控制层包含大于约每平方1011欧姆之一表面电阻率。

根据本发明的一具体实例，提供用于一静电夹盘的一软性突出结构，其提供用于晶圆、工件或其他基板的一非研磨接触表面，同时也具有改良的可制造性及与接地表面压板设计的兼容性。该软性突出结构包含一可光图案化的聚合物。

本发明是关于一种可扩展介质保持环，其包含一可扩展环及一可透气介质保持膜。本发明进一步是关于一种气体净化器装置，其包含两个或两个以上净化介质床及一可扩展介质保持环。该可扩展介质保持环是通过径向力来紧固于该装置中，且防止净化介质游移至相邻床...

本发明揭示一种用于自有机溶剂移除金属(诸如铬)的纯化器。该纯化器包含外壳，该外壳具有流体入口及与该流体入口流体连通的流体出口；安置于该外壳内在该流体入口下游的离子交换树脂体积；及在该离子交换树脂体积下游的过滤部件，该过滤部件包含至少一个...

本发明是一种气体纯化器，其例如在次大气压下自惰性气体及还原气体移除湿气及氧气。该纯化器可移除气流中百万分之一体积含量的湿气至低于万亿分之100，且具有较低压降及较陡穿透曲线。

本发明公开一种位于陶瓷基质上的抗氟电浆涂层。在一个具体实例中，该组成物包括覆盖基质的约2微米厚的AlON涂层及视需要具有的覆盖该AlON涂层的约3微米厚的氧化钇涂层。

本发明揭示一种过滤构件，其包含一个奈米纤维层及两个奈米多孔膜层。该过滤构件可通过筛分与非筛分粒子滞留机制的组合用于自光阻剂及其它流体移除粒子及凝胶。

本发明揭示一种烧结多孔体，其由金属粒子与金属纤维的可流动空气沉降混合物的压坯（green?compact）制成。该压坯经烧结以提供具有金属粒子及金属纤维在整个基体中的各向同性分布的该多孔烧结体。该多孔烧结体包括充当节点且与纤维烧结的金属...

依据本发明实施例，设有一静电夹头，其包括一电极及一表面层，此表面层被电极中的一电压所致动而形成电荷，通过此将一基板静电夹钳至静电夹头上。所述表面层包括多个凸起，所述凸起延伸至围绕所述凸起的部分所述表面层上方的一高度处，以便在基板的静电夹...

根据本发明的具体实施例，提供一种高传导静电夹盘，其包括：传导路径，其覆盖静电夹盘的气密环的至少一部分接触工件的表面，该传导路径包括至少一部分至接地的电路径；以及静电夹盘的接触工件表面的主场区域，其包括范围从每平方约108至约1012欧姆...

根据本发明之一具体实例，提供一种静电吸盘。该静电吸盘包含一电极及一表面层，该表面层由该电极中之一电压启动以形成一电荷以将一基板静电夹持至该静电吸盘，该表面层包括一电荷控制层，该电荷控制层包含大于约每平方1011欧姆之一表面电阻率。

根据本发明之一具体实例，提供一种经涂覆之石墨物件。该物件包含：石墨，及一覆盖该石墨之至少一部分之导电涂层。该导电涂层包含一贯穿该石墨及该导电涂层之厚度所量测得的小于约50欧姆之全厚度电阻。根据本发明之另一具体实例，提供一种用于制造一包含...

一种在晶片容器内的改进的晶片支撑机构，用于承载多个轴向对齐的几乎圆形的薄晶片基片。该容器包括：盒体，该盒体具有用于容纳基片的多个相邻地布置的齿部，其中，每个凸肋构件从盒体开口顶部至盒体开口底部延续；可移动的顶盖部分；可移动的底盖部分；可...

系统、方法和组件包括用于运输、存储和处理数据存储磁盘或其他磁盘形物品的改进的通用磁盘容器；装载磁盘的磁盘装运系统和方法允许库存最少数量组件同时仍允许在容器中包装和装载不同厚度磁盘和不同容量磁盘；组件呈现通用性同时仍最小化微粒产生、磁盘损...

本发明关于一种多孔薄膜，其包含第一平均尺寸的第一金属粒子粉末与第二平均尺寸的第二金属粒子粉末的掺合物，第一粉末与第二粉末经烧结在一起。第一平均尺寸比第二平均尺寸大5至50倍。多孔薄膜包含从40％(重量)至60％(重量)的第一粉末。

根据本发明的一具体实例，提供一种静电吸盘。该静电吸盘包含一表面层，该表面层由一电极中的一电压激活以形成一电荷，从而将一基板静电夹持于该静电吸盘。该表面层包括多个聚合物突出物及该多个聚合物突出物所黏着的一电荷控制层，该多个聚合物突出物延伸...

依据本发明实施例，设有一静电夹头，其包括一电极及一表面层，此表面层被电极中的一电压所致动而形成电荷，通过此将一基板静电夹钳至静电夹头上。所述表面层包括多个凸起，所述凸起延伸至围绕所述凸起的部分所述表面层上方的一高度处，以便在基板的静电夹...

一种微影投射设备，包括：支撑件，被建构来支撑一图案成形装置，该图案成形装置被建构以依据一图案而使一投射光束形成图案。该设备具有基板平台，被建构成托住一基板；及投射系统，被建构成投射被图案成形过的光束到该基板的目标区域之上。该装置也具有一...