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本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件；两个Y向柔性导向件；两个X向柔性解耦件；两个Y向柔性解耦件；X向驱动器和Y向驱动器；X向光栅传感...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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