二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法技术

本发明专利技术公开了一种二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件；两个Y向柔性导向件；两个X向柔性解耦件；两个Y向柔性解耦件；X向驱动器和Y向驱动器；X向光栅传感器；Y向光栅传感器。根据本发明专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台具有精度高、成本低和安装使用方便等优点。

【技术实现步骤摘要】
二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法
本专利技术涉及利用光栅传感器直接测量大行程二维纳米柔性运动平台领域，具体而言，涉及一种二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法。
技术介绍
相关技术中的二维纳米柔性运动平台，对于微纳精度要求的位移测量，其允许的非运动方向的偏移在200微米以内，无法直接应用光栅传感器同时实现两个方向的大行程测量。此外，两级测量方法影响测量精度的因素多、传感器安装不便，激光干涉仪方法成本高、安装复杂。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种二维纳米柔性运动平台，该二维纳米柔性运动平台具有精度高、成本低和安装使用方便等优点。本专利技术还提出一种二维纳米柔性运动平台的光栅测量方法。为实现上述目的，根据本专利技术的第一方面的实施例提出一种二维纳米柔性运动平台，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分...

【技术特征摘要】
1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连；X向光栅传感器，所述X向光栅传感器分别与所述终端平台和所述X向柔性导向件可拆卸地相连且至少一部分随所述X向柔性导向件一同移动；Y向光栅传感器，所述Y向光栅传感器分别与所述终端平台和所述Y向柔性导向件可拆卸地相连且至少一部分随所述Y向柔性导向件一同移动。2.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向光栅传感器包括X向玻璃尺和X向读数头，所述X向玻璃尺安装在所述终端平台上靠近所述X向柔性导向件的一侧边沿，所述X向读数头安装在所述X向柔性导向件上靠近所述终端平台的一端；所述Y向光栅传感器包括Y向玻璃尺和Y向读数头，所述Y向玻璃尺安装在所述终端平台上靠近所述Y向柔性导向件的一侧边沿，所述Y向读数头安装在所述Y向柔性导向件上靠近所述终端平台的一端。3.根据权利要求2所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向玻璃尺安装在所述终端平台的上表面，所述X向读数头安装在所述X向柔性导向件的上表面；所述Y向玻璃尺安装在所述终端平台的上表面，所述Y向读数头安装在所述Y向柔性导向件的上表面。4.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向柔性导向件和所述X向光栅传感器中的一个上设有X向定位凸筋且另一个上设有X向定位槽，所述X向定位凸筋可拆卸地配合在所述X向定位槽内；所述Y向柔性导向件和所述Y向光栅传感器中的一个上设有Y向定位凸筋且另一个上设有Y向定位槽，所述Y向定位凸筋可拆卸地配合在所述X向定位槽内。5.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，两个所述X向柔性导向件在X向上对称设置，两个所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张震，杨晓东，崔梦嘉，闫鹏，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京,11