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本发明提供用于平坦化或抛光基板的组合物及方法。该组合物包含研磨剂、碘酸根离子、含氮化合物、及包含水的液体载体，其中，该含氮化合物选自含氮Ｃ↓［４－２０］杂环及Ｃ↓［１－２０］烷基胺。...
该专利属于卡伯特微电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡伯特微电子公司授权不得商用。

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