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本发明提供了一种用于抛光多层基板的一层或多层的系统，该多层基板包括第一金属层与第二层，该系统包括（ｉ）一种液态载体、（ｉｉ）至少一种氧化剂、（ｉｉｉ）至少一种抛光添加剂，其可提高该系统抛光该基板至少一层的速率，其中该抛光添加剂选自焦磷酸盐、...
该专利属于卡伯特微电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡伯特微电子公司授权不得商用。

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