下载晶圆背面刷胶装置及其刷胶网的技术资料

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本实用新型是关于晶圆背面刷胶装置及其刷胶网。根据本实用新型一实施例的晶圆背面刷胶装置包含真空吸盘、夹具及刷胶网。该真空吸盘经配置以具有真空吸附区域。该夹具经配置以设置于该真空吸盘上,且进一步包含至少贯穿其上表面至下表面的收容槽。收容槽经配置...
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