下载用于硼酸锂铯晶体的化学机械无水抛光液及平整化方法的技术资料

文档序号:1651971

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本发明公开了一种对硼酸锂铯晶体有效的无水抛光液及抛光方法。本发明用于硼酸锂铯晶体的化学机械无水抛光液的组成成分wt%如下:(a)纳米SiO↓[2]磨料4-8、(b)有机溶剂72-95、(c)有机碱0.5-10、(d)表面活性剂0.5-10。...
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