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本发明提供的晶片支撑组件、反应腔室及半导体加工设备，包括托盘和基座，托盘用于承载多个晶片；基座用于承载托盘，且基座是可升降的，以上升至工艺位置进行工艺，或者下降至装卸位置进行取放托盘的操作。并且在托盘上设置有多个镂空部，各个晶片一一对应地位...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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