下载用于制造半导体结构的方法的技术资料

文档序号:16471028

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本发明实施例公开了一种用于制造半导体结构的方法,该方法包括:提供衬底;在该衬底上方形成MRAM结构;在该MRAM结构上方形成第一介电层;在该第一介电层上方形成停止层;在该停止层上方形成第二介电层;以及在没有暴露MRAM结构的顶部电极的情况下...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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