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本发明提供的机械卡盘，其包括用于承载晶片的基座以及卡环组件，卡环组件包括卡环、绝缘环和遮挡环，其中，卡环用于固定晶片。绝缘环设置在卡环上，用于支撑遮挡环，遮挡环用于遮挡卡环的上表面。卡环包括环状本体，该环状本体采用绝缘材料制作；在环状本体的...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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