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本实用新型提供一种光刻系统。在一个实施方式中，一种光刻系统包括：卡盘，所述卡盘具有基板接收表面；处理单元，所述处理单元设置在所述卡盘上方；一个或多个通气口，所述一个或多个通气口设置在所述处理单元上方；气源，所述气源耦接到所述一个或多个通气口...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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