下载金属部件的接合方法以及接合装置的技术资料

文档序号:16442410

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本发明涉及金属部件的接合方法以及接合装置。接合方法具备:在照射面(62a1)上形成与氧化膜形成用激光(L1)的第一输出(W1)以及照射时间对应的膜厚的氧化膜(OM)氧化膜形成工序(S10);检测第二输出(W2)的第一反射激光检测工序(S12...
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