金属部件的接合方法以及接合装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及金属部件的接合方法以及接合装置。接合方法具备：在照射面(62a1)上形成与氧化膜形成用激光(L1)的第一输出(W1)以及照射时间对应的膜厚的氧化膜(OM)氧化膜形成工序(S10)；检测第二输出(W2)的第一反射激光检测工序(S12)；运算氧化膜形成用激光(L1)的第一吸收率的第一吸收率运算工序(S14)；将对照射面(62a1)的氧化膜形成用激光的照射切换为上述加热接合用激光的激光切换工序(S16A、S16B)；以及将第一接合面(62b)的温度加热至规定的接合温度(Ta)并使第一接合面(62b)与第二接合面(51a)接合的加热接合工序(S3)。

Joining method and joining device for metal parts

The invention relates to the joining method of metal parts and the joining device. Joining method: in the face with irradiation (62a1) on the formation of oxide film with laser and (L1) the first output (W1) and irradiation time corresponding oxide film thickness (OM) oxide film formation process (S10); second detection output (W2) of the first reflective laser detection procedure (S12) operation; oxide film formation laser (L1) of the first absorption rate of the absorption rate of the first operation procedure (S14); control reflector (62a1) film formed by laser irradiation for the heating switch joint by laser switching process of laser (S16A, S16B); and the first joint surface (62b) of the bonding temperature is heated to the temperature the provisions of the (Ta) and the first joint surface (62b) and second (51a) joint joint heating bonding process (S3).

【技术实现步骤摘要】
金属部件的接合方法以及接合装置
本专利技术涉及利用激光的金属部件的接合方法以及接合装置。
技术介绍
以往，有通过使激光照射金属部件的表面并使其吸收来对金属部件进行加热的技术。例如参照日本专利第4894528号公报、日本专利第5602050号公报，以及日本特开2014-228478号公报。此时，对金属部件进行加热的目的是各种各样的。例如作为其中之一，有如日本专利第4894528号公报、专利第5602050号公报所示的那样以两部件的接合为目的的专利技术。在进行两部件的接合的情况下，例如，对成为电气电路的接点的金属部件(例如导线)进行加热，并将被接合部件(例如半导体的端子)与金属部件直接接合。此时，如日本专利第4894528号公报、日本专利第5602050号公报所示，也可以使加热部在未加热至液相状态而停留在固相状态时，以规定的压力对金属部件和被接合部件加压而进行接合(固相扩散接合)。另外，作为通常的焊接、使加热部熔融而处于液相状态接合也可以。利用这些接合方法，与通过焊料接合金属部件与被接合部件的情况相比较，是耐高温环境的接合。另外，作为其他加热的例子，例如，也有如日本特开2014-2284本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种接合方法，其向第一金属部件的照射面照射加热接合用激光而对上述第一金属部件的第一接合面进行加热，并将上述第一接合面和与上述第一接合面抵接的第二金属部件的第二接合面接合，其中，具备：氧化膜形成工序，以第一输出向上述第一金属部件的上述照射面照射氧化膜形成用激光，并在上述照射面上形成与上述氧化膜形成用激光的上述第一输出以及照射时间相对应的膜厚的氧化膜；第一反射激光检测工序，检测上述氧化膜形成用激光被上述照射面反射而生成的第一反射激光的输出亦即第二输出；第一吸收率运算工序，基于在上述氧化膜形成工序照射的上述氧化膜形成用激光的上述第一输出以及由上述第一反射激光检测工序检测的上述第一反射激光的上述第二输...

【技术特征摘要】
2016.04.12 JP 2016-0797301.一种接合方法，其向第一金属部件的照射面照射加热接合用激光而对上述第一金属部件的第一接合面进行加热，并将上述第一接合面和与上述第一接合面抵接的第二金属部件的第二接合面接合，其中，具备：氧化膜形成工序，以第一输出向上述第一金属部件的上述照射面照射氧化膜形成用激光，并在上述照射面上形成与上述氧化膜形成用激光的上述第一输出以及照射时间相对应的膜厚的氧化膜；第一反射激光检测工序，检测上述氧化膜形成用激光被上述照射面反射而生成的第一反射激光的输出亦即第二输出；第一吸收率运算工序，基于在上述氧化膜形成工序照射的上述氧化膜形成用激光的上述第一输出以及由上述第一反射激光检测工序检测的上述第一反射激光的上述第二输出，运算上述第一金属部件的上述照射面中的上述氧化膜形成用激光的第一吸收率；激光切换工序，在判定上述第一吸收率为规定的吸收率以上的情况下，将向上述照射面的上述氧化膜形成用激光的照射切换为上述加热接合用激光；以及加热接合工序，在切换为上述加热接合用激光之后，以第三输出向上述照射面照射上述加热接合用激光，将上述第一接合面的温度加热至规定的接合温度并使上述第一接合面与上述第二接合面接合。2.根据权利要求1所述的接合方法，其中，上述规定的接合温度是能够使上述第一接合面与上述第二接合面成为以比液相状态低的温度成立、以固体的状态能够接合的固相状态的温度，在上述加热接合工序中，上述第一接合面以及上述第二接合面在上述固相状态下沿压焊方向被加压而接合。3.根据权利要求1或2所述的接合方法，其中，在上述加热接合工序中，上述加热接合用激光的上述第三输出比上述氧化膜形成用激光的上述第一输出小。4.根据权利要求1或2所述的接合方法，其中，上述第一吸收率在其与上述氧化膜的膜厚的关系中，具有相对于上述膜厚向增大方向的变化而交替出现极大值和极小值的周期性并且在上述氧化膜的膜厚为零的情况下变得最小的特性，上述激光切换工序中上述规定的吸收率在与将第一膜厚范围与第二膜厚范围合并的膜厚范围对应的上述第一吸收率的范围内设定，在具有上述周期性的上述第一吸收率与上述膜厚的关系中，上述第一膜厚范围是在上述氧化膜的膜厚超过上述零，且与上述第一吸收率第一次作为上述极大值出现的第一极大值对应的第一极大膜厚，以及与在上述第一极大值之后上述第一吸收率作为上述极大值出现的第二极大值对应的第二极大膜厚之间，比与上述第一吸收率作为上述极小值出现的第一极小值对应的第一极小膜厚小的范围，上述第二膜厚范围，是在上述第一极小膜厚以上，并且...

【专利技术属性】
技术研发人员：井本吉纪，长滨贵也，椎叶好一，
申请(专利权)人：株式会社捷太格特，
类型：发明
国别省市：日本,JP