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本发明公开一种微型车床，用于集成于FIB/SEM双束系统的真空腔内利用FIB/SEM双束系统对工件进行加工，包括仅具有t轴旋转自由度的基座以及固定安装在所述基座上的具有x、y、z三轴自由度的多轴精密移动台，所述多轴精密移动台上安装有隔离板，...
该专利属于天津商业大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津商业大学授权不得商用。

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