一种微型车床制造技术

本发明专利技术公开一种微型车床，用于集成于FIB/SEM双束系统的真空腔内利用FIB/SEM双束系统对工件进行加工，包括仅具有t轴旋转自由度的基座以及固定安装在所述基座上的具有x、y、z三轴自由度的多轴精密移动台，所述多轴精密移动台上安装有隔离板，所述隔离板上安装有轴承座，所述轴承座中安装有具有自动对心功能的滑动轴承用于支撑主轴，所述主轴的一端具有用于夹持圆柱形工件的ER弹性夹头结构，所述主轴利用步进电机通过皮带传动；所述FIB/SEM双束系统包括对工件车削加工的FIB极靴与用于原位在线观察工件的SEM极靴。本发明专利技术结构简单，稳定可靠，可实现微型轴类零件加工过程的在线监测。

A micro lathe

The invention discloses a micro lathe, used for vacuum cavity integrated in FIB/SEM dual beam system using FIB/SEM dual beam system for processing workpiece, including only has a base t axis rotational degrees of freedom and is fixed on the base of X, y, Z axis three DOF multi axis precision mobile station. A partition plate installed in the multi axis precision on the mobile station, the isolation plate is installed on the bearing seat, the bearing seat is installed with automatic sliding bearing on heart function for supporting the spindle, wherein one end of the spindle is used in ER collet clamping structure of cylindrical workpiece, the spindle by step the motor through the belt drive; the FIB/SEM dual beam system including the workpiece turning pole and FIB for in situ observation of workpiece SEM pole shoes online. The invention is simple in structure, stable and reliable, and can be used for on-line monitoring of machining process of micro shaft parts.

【技术实现步骤摘要】
一种微型车床
本专利技术涉及微型车床
，具体涉及一种采用聚焦离子束对工作加工的微型车床。
技术介绍
随着高新技术的发展，半导体、航空航天及国防等领域对特征尺寸在微米级到毫米级的微型轴类零件有着日益广泛的需求。目前，微型轴类零件通常是在传统条件下的超精密车床上车削而成。由于加工尺度在微纳米量级，传统车削加工存在着对刀困难、装夹工艺复杂等问题，而且接触式加工容易导致工件受力变形，影响加工精度。此外，传统车削而成的工件在离线表征其加工质量时可能会额外引入不确定因素，包括空气氧化、灰尘污染等，对微型轴类零件的超精密加工尚存在一定的局限性。聚焦离子束以其纳米尺度制造精度、直写加工、灵活性好等优势，近年来在微纳制造领域得到了广泛应用。因此，开发一种利用聚焦离子束对工作加工的车床，以实现对微型轴类零件的超精密非接触式加工，具有重要的意义。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术中存在的技术缺陷，而提供一种采用聚焦离子束对工件进行加工的微型车床。为实现本专利技术的目的所采用的技术方案是：一种微型车床，用于集成于FIB/SEM双束系统的真空腔内利用FIB/SEM双束系统对工件进行加工，包括仅具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型车床，其特征在于，用于集成于FIB/SEM双束系统的真空腔内利用FIB/SEM双束系统对工件进行加工，包括仅具有t轴旋转自由度的基座以及固定安装在所述基座上的具有x、y、z三轴自由度的多轴精密移动台，所述多轴精密移动台上安装有隔离板，所述隔离板上安装有轴承座，所述轴承座中安装有具有自动对心功能的滑动轴承用于支撑主轴，所述主轴的一端具有用于夹持圆柱形工件的ER弹性夹头，所述主轴利用步进电机通过皮带传动；所述FIB/SEM双束系统包括对工件车削加工的FIB极靴与用于原位在线观察工件的SEM极靴。

【技术特征摘要】
1.一种微型车床，其特征在于，用于集成于FIB/SEM双束系统的真空腔内利用FIB/SEM双束系统对工件进行加工，包括仅具有t轴旋转自由度的基座以及固定安装在所述基座上的具有x、y、z三轴自由度的多轴精密移动台，所述多轴精密移动台上安装有隔离板，所述隔离板上安装有轴承座，所述轴承座中安装有具有自动对心功能的滑动轴承用于支撑主轴，所述主轴的一端具有用于夹持圆柱形工件的ER弹性夹头，所述主轴利用步进电机通过皮带传动；所述FIB/SEM双束系统包括对工件车削加工的FIB极靴与用于原位在线观察工件的SEM极靴。2.如权利要求1所述微型车床，其特征在于，所述步进电机通过电机支架安装在所述隔离板上，所述主轴通过齿形带及带轮与所述步进电机的电机轴连接。3.如权利要求1所述微型车床，其特征在于，所述滑动轴承为两组，分别安装在所述轴承座的两侧端，每组所述滑动轴承包括凸半球状轴颈和凹半球状轴瓦。4.如权利要求3所述微型车床，其特征在于，所述轴承座的电机侧安装有挡圈，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘冰，周鹏飞，王心宇，苗耀文，杜晓晗，李爽，
申请(专利权)人：天津商业大学，
类型：发明
国别省市：天津,12