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本发明公开了一种不积水的抛光头，所述抛光头包括：夹片组件；盖体，盖体可移动地安装在夹片组件上且与夹片组件之间限定出容纳腔；基体，基体可上下移动地安装在夹片组件上且位于容纳腔内，基体与盖体紧密相连；膜片，膜片分别与夹片组件和基体相连，且限定出...
该专利属于清华大学;天津华海清科机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;天津华海清科机电科技有限公司授权不得商用。

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