温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种即便在延长高频天线的情况下也能够效率优良地产生感应耦合型等离子体的等离子体处理装置。所述等离子体处理装置包括高频天线(18)，所述高频天线(18)配置于被真空排气且导入了气体(8)的真空容器(2)内。所述等离子体处理装置进而包...
该专利属于日新电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日新电机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。