下载被加工物的评价方法的技术资料

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提供被加工物的评价方法,能够对能够成为产品的被加工物的吸杂性进行评价。一种被加工物的评价方法,对在正面上形成有多个器件并且在内部形成有吸杂层的器件晶片的吸杂性进行评价。被加工物的评价方法包含如下的工序:激发光照射工序,对器件晶片照射用于激发...
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