下载适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法的技术资料

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一种适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法,包括如下步骤:步骤1:取SrmBanSixOy:Er3+/RE;步骤2:将SrmBanSixOy:Er3+/RE压制成靶材;步骤3:采用溅射的方法,溅射靶材;步骤4:靶材上溅射出的粒子,在...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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