Method for preparing material for erbium doped optical amplifier for LED pumped light source, comprising the following steps: 1. SrmBanSixOy:Er3+/RE; step 2: SrmBanSixOy:Er3+/RE will be pressed into the target; step 3: the sputtering method and sputtering target; step 4: the target of sputtering particles deposited on the substrate to form. SrmBanSixOy:Er3+/RE film, complete the preparation. By designing the structure of the erbium optical amplifier material, the invention realizes the high absorption efficiency of the erbium ion to the light emitted by the LED light source and improves the pumping efficiency, thereby effectively reducing the cost of the optical amplifier.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及铒光放大器的技术，特别是适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法。通过设计铒光放大器材料的结构，可以实现铒离子对LED光源发出的光具有高吸收效率，提高了泵浦光效率，从而有效降低光放大器成本的技术。
技术介绍
光放大器作为光通信网络中的核心器件，一直是光通信领域的一个重要内容。光放大器能够直接进行光放大，无需经过光电转换，从而消除目前许多系统中的电子瓶颈，好比信息高速公路的“加油站”，使超长距离传输成为可能。掺铒(Er)光放大器由于其独特的优势，在光通信领域应用十分广泛。然而，稀土Er3+具有窄的能级吸收的特点，掺铒光放大器需要采用价格昂贵的单模激光器(比如980nm、1480nm)来泵浦。如果能够采用LED光源来泵浦掺铒光放大器，那么掺铒光放大器的成本将可以进一步降低。虽然也有报导采用大功率LED来直接泵浦铒光放大器，但由于没能从根本上解决Er3+能级吸收弱的特点，泵浦效率非常低，限制了其在现实中的应用。此外，也有采用将Er...
【技术保护点】
一种适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法，包括如下步骤：步骤1：取SrmBanSixOy：Er3+／RE；步骤2：将SrmBanSixOy：Er3+/RE压制成靶材；步骤3：采用溅射的方法，溅射靶材；步骤4：靶材上溅射出的粒子，在基片上沉积，形成SrmBanSixOy：Er3+／RE的薄膜，完成制备。
【技术特征摘要】
1.一种适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法，包括如下
步骤：
步骤1：取SrmBanSixOy：Er3+／RE；
步骤2：将SrmBanSixOy：Er3+/RE压制成靶材；
步骤3：采用溅射的方法，溅射靶材；
步骤4：靶材上溅射出的粒子，在基片上沉积，形成SrmBanSixOy：Er3+／RE
的薄膜，完成制备。
2.一种适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法，包括如下
步骤：
步骤1：取SrmBanSixOy：RE；
步骤2：取Er2O3；
步骤3：将SrmBanSixOy：RE：RE和Er2O3分别压制成靶材；
步骤4：采用溅射的方法，同时溅射两种靶材；
步骤5：靶材上溅射出的粒子，在基片上沉积，形成SrmBanSixOy：Er3+／RE
的薄膜，完成制备。
3.根据权利要求1或2所述的适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料
的制备方法，其中所述的SrmBanSixOy：Er3+／RE中，Er的原子百分数为0.001
at.％至10at.％，RE的总原子百分数为0.001at.％至10at.％。
4.根据权利要求3所述的适用LE...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑军，成步文，王启明，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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