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一种用于半导体装置制作工具的缓冲系统包含：一或多个可伸缩架子；一或多个滑动组合件，其可定位于所述半导体装置制作工具的一或多个装载端口上方；及一或多个举升组合件。所述一或多个可伸缩架子经配置以支撑可密封容器。所述一或多个滑动组合件经配置以接收...
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