用于高产率在制品缓冲的系统及方法技术方案

一种用于半导体装置制作工具的缓冲系统包含：一或多个可伸缩架子；一或多个滑动组合件，其可定位于所述半导体装置制作工具的一或多个装载端口上方；及一或多个举升组合件。所述一或多个可伸缩架子经配置以支撑可密封容器。所述一或多个滑动组合件经配置以接收所述可密封容器且进一步经配置以将所述可密封容器输送到一或多个可伸缩架子下方的一或多个位置。所述一或多个举升组合件经配置以使可密封容器在包含一或多个可伸缩架子、所述一或多个滑动组合件及所述一或多个装载端口的群组中的任何两者之间输送。

System and method for high throughput WIP buffering

A semiconductor device includes buffer system for making tools: one or more telescopic shelves; one or more sliding assembly, which can locate one or more loading port above the semiconductor device production tools; and one or more lifting assembly. The one or more telescopic shelves are configured to support the sealable container. The one or more slip assemblies are configured to receive the sealable container and further configured to transport the sealable container to one or more positions below one or more retractable shelves. The one or more lifting assembly configured to make transport between the sealed container contains one or more adjustable shelves, wherein one or more sliding assembly and the one or more loading port in any two groups.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于高产率在制品缓冲的系统及方法相关申请案的交叉参考本申请案依据35U.S.C.§119(e)主张2015年2月7日申请的标题为高产率制品缓冲(HIGHTHROUGHPUTWORKINPROCESSBUFFER)的序列号为62/113,376的美国临时申请案的权利，专利技术者为迈克尔·布林(MichaelBrain)，所述临时申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。
本专利技术大体上涉及半导体装置制作线工具，且更具体来说，本专利技术涉及用于半导体装置制作线工具的过程流程管理的高产率缓冲系统。
技术介绍
现代半导体装置制作线中的过程流程使用由一系列半导体制作工具执行的大量制作步骤。在一些情况中，过程流程可含有在一组半导体装置制作线工具(包含超过一百种不同类型的多于一千个设备单元)中的重入流程中的超过800个过程步骤。过程流程中的晶片通常通过自动化材料处理系统(AMHS)在可密封容器(或前开式晶片传送盒(FOUP))中移动通过过程步骤。每一半导体装置制作线工具含有用于接纳可密封容器的标准化设备前端模块(EFEM)，替代地是装载端口。一旦半导体装置制作线工具已接纳可密封容器，则所述可密封容本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体装置制作工具的缓冲系统，其包括：一或多个可伸缩架子，其中所述一或多个可伸缩架子经配置以支撑可密封容器；一或多个滑动组合件，其可定位于所述半导体装置制作工具的一或多个装载端口上方，其中所述一或多个滑动组合件经配置以将所述可密封容器输送到所述一或多个可伸缩架子下方的一或多个位置；及一或多个举升组合件，其中所述一或多个举升组合件经配置以使所述可密封容器在包含所述一或多个可伸缩架子、所述一或多个滑动组合件及所述一或多个装载端口的群组中的任何两者之间输送。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.07 US 62/113,376;2016.02.05 US 15/016,6351.一种用于半导体装置制作工具的缓冲系统，其包括：一或多个可伸缩架子，其中所述一或多个可伸缩架子经配置以支撑可密封容器；一或多个滑动组合件，其可定位于所述半导体装置制作工具的一或多个装载端口上方，其中所述一或多个滑动组合件经配置以将所述可密封容器输送到所述一或多个可伸缩架子下方的一或多个位置；及一或多个举升组合件，其中所述一或多个举升组合件经配置以使所述可密封容器在包含所述一或多个可伸缩架子、所述一或多个滑动组合件及所述一或多个装载端口的群组中的任何两者之间输送。2.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个可伸缩架子中的至少一者可定位于所述一或多个装载端口中的至少一者上方。3.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个可伸缩架子包括：两个或两个以上可伸缩架子，其中所述两个或两个以上可伸缩架子在行中对准。4.根据权利要求3所述的缓冲系统，其中所述行经水平定向。5.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个滑动组合件支撑所述可密封容器的底侧的至少一部分。6.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个滑动组合件沿线性水平路径输送可密封容器。7.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个举升组合件支撑所述可密封容器中的至少一者的底侧的至少一部分。8.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个可伸缩架子、所述一或多个滑动组合件或所述一或多个举升组合件中的至少两者同时移动。9.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个可伸缩架子中的至少一者收缩以提供通过所述一或多个举升组合件垂直输送所述可密封容器的间隙。10.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个可伸缩架子或所述一或多个滑动组合件中的至少一者包括：安装于线性轨道系统上的板。11.根据权利要求10所述的缓冲系统，其中所述板的运动通过导螺杆、皮带驱动、磁带驱动、电缆驱动或线性电动机中的至少一者驱动。12.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个可伸缩架子或所述一或多个滑动组合件中的至少一者包含一或多个运动销，其经配置以与所述可密封容器上的一或多个对应狭槽接合而提供所述可密封容器的灵活对准。13.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个举升组合件沿线性垂直路径输送所述可密封容器。14.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个举升组合件支撑与所述可密封容器中的至少一者相关联的运送器轨道或运送器板中的至少一者。15.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个举升组合件中的至少一者的运动由电缆、磁带或配重中的至少一者驱动。16.根据权利要求1所述的缓冲系统，其中所述一或多个举升组合件包括：一或多个叉。17.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔·布雷恩，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US