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检查装置具备：激光光源；将激光从金属层侧照射至半导体设备的激光标记用光学系统；通过控制激光光源来控制激光标记的控制部；在基板侧检测来自半导体设备的光并输出光学反射像的二维照相机；及生成半导体设备的图案图像的解析部；控制部以直至标记像显现于图...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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