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干涉观察装置(1A)具备光源(10)、分支用分束器(21)、合波用分束器(22)、分束器(31)、镜(32)、分束器(41)、镜(42)、压电元件(43)、平台(44)、摄像部(61)、图像取得部(71)以及控制部(72)。从分支用分束器(...
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