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干涉观察装置(1)具备输出非相干的光的光源(10)、分束器(20)、试样保持台(31)、物镜(32)、参照镜(41)、透镜(42)、像差修正用板(43)、压电元件(44)、镜筒透镜(51)、分束器(52)、摄像部(61)、光检测器(62)、...
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