下载半导体加工用粘合片的技术资料

文档序号:16305768

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本发明提供一种半导体加工用粘合片,其在基材上依次具有中间层和粘合剂层,且满足(a)在频率1Hz下测定的50℃时的该中间层的损耗角正切为1.0以上、以及(b)在频率1Hz下测定的50℃时的该粘合剂层的储能模量A与该中间层的储能模量I之比[A/...
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