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碳化硅质复合体的制造方法技术
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文档序号:16305099
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本发明的目的在于以廉价的方法稳定地提供一种轻质且高热导率、并且具有与陶瓷基板接近的低热膨胀率的碳化硅质复合体,特别是适合于要求无翘曲的散热器等散热构件的碳化硅质复合体。本发明为使以铝为主要成分的金属含浸在多孔质碳化硅成型体中而形成的碳化硅质...
该专利属于电化株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过电化株式会社授权不得商用。
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