下载制造垂直存储器装置的方法的技术资料

文档序号:16302092

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提供一种制造垂直存储器装置的方法,所述方法包括基于每个沟道孔和与其相邻的隔离区之间的距离、多个沟道孔在布局中的形状、多个沟道孔在布局中的坐标中的至少一个,将包括在垂直存储器装置的布局中的多个沟道孔划分为多种类型。识别连接到包括在布局中的多条...
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