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本公开大体涉及抛光制品，以及使用抛光制品的化学机械抛光基板的装置和方法。在一些实施方式中，诸如抛光垫的抛光制品包括多个层，其中一个或多个层(即，至少顶层)包括在抛光工艺期间被放置成接触基板的多个纳米纤维。在一个实施方式中，抛光制品包括具有小...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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