下载用于绝缘栅双极晶体管的防闩锁终端区的技术资料

文档序号:16282946

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本发明公开了用于绝缘栅双极晶体管的防闩锁终端区,包括:在正面结构中,包括衬底、场限环、覆盖场限环的氧化层或者钝化层、绝缘栅双极晶体管IGBT元包的基区、IGBT元包的发射极及发射极金属电极,所述场限环的掺杂类型与衬底相反,IGBT元包的基区...
该专利属于中国科学院微电子研究所;上海联星电子有限公司;江苏中科君芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所;上海联星电子有限公司;江苏中科君芯科技有限公司授权不得商用。

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