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基板检查装置及基板检查方法制造方法及图纸
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文档序号:16269026
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本发明的基板检查方法,对电路基板上形成的导体图案通过检查探针流过电流来测电特性值,基于该电特性值的测量值判定电路基板的合格与否,包括以下步骤:在测量值为容许范围内的情况下判定为合格,在没有被判定为合格的情况下反复进行测量,在测量次数达到了上...
该专利属于雅马哈精密科技株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过雅马哈精密科技株式会社授权不得商用。
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