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本实用新型涉及一种用于降低磁控溅射镀膜腔体温度的治具，它包括载盘（1），所述载盘（1）上方设置有载具（3），所述载盘（1）内部密封有相变储热材料（7），所述载盘（1）上表面形成多个突起部（2），所述载具（3）上开设有多个通孔（4），突起部（...
该专利属于江苏长电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏长电科技股份有限公司授权不得商用。

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