下载多电极串行半导体光放大器的技术资料

文档序号:16218643

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本公开提供了一种多电极串行半导体光放大器,包括:衬底;n面电极,形成于衬底的第一表面;n型多层结构,形成于衬底的第二表面,包括:n型下限制层,形成于衬底上;n型波导层,形成于n型下限制层上;有源层,形成于n型多层结构上;p型多层结构,形成于...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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