下载一种半导体器件及其制备方法的技术资料

文档序号:16218348

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种半导体器件及其制备方法,其中,所述半导体器件包括由下至上依次排列的衬底、底电极、三元氧化物薄膜和顶电极。所述半导体器件将钛酸锶材料(三元氧化物AO(ABO3)n)应用于器件结构中,通过对于半导体器件的测试可以看出这种结构的半...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。