下载一种纳米纸衬底薄膜晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:16218295

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本发明属于显示器件技术领域,公开了一种纳米纸衬底薄膜晶体管及其制备方法。所述纳米纸衬底薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、纳米纸衬底、缓冲层、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成。其制备方法为:在硬质衬底上旋涂纳米纤维素溶液,制备纳米纸衬底...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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