下载一种半导体元器件结构及其制作方法的技术资料

文档序号:16218214

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本发明公开一种半导体元器件结构,包括绝缘体上硅结构,所述绝缘体上硅结构包括硅衬底;第一氧化层,位于所述硅衬底的第一表面上;第二氧化层,位于所述第二氧化层上;顶层硅,位于所述第二层氧化物上;半导体器件,位于所述顶层硅内或表面;所述硅衬底的第二...
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