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集成电路器件及其制造方法技术
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文档序号:16218205
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一种集成电路(IC)器件包括:彼此邻近的一对鳍形有源区,在其间有鳍分离区,所述一对鳍形有源区延伸成一行;以及在鳍分离区中的鳍分离绝缘结构,其中所述一对鳍形有源区包括第一鳍形有源区,第一鳍形有源区具有限定部分的鳍分离区的第一拐角,并且其中鳍分...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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