下载鳍式场效晶体管器件的技术资料

文档序号:16218204

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本发明实施例公开了鳍式场效晶体管器件及其形成方法。一种鳍式场效晶体管器件包括在第一区中具有第一鳍及第二鳍且在第二区中具有第三鳍及第四鳍的衬底,以及分别跨越第一鳍至第四鳍的第一栅极至第四栅极。第一栅极的第一端部侧壁面对第二栅极的第二端部侧壁,...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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