温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种机械手、半导体加工设备及机械手工作状态的检测方法，其包括手臂、设置在该手臂一端的手指和应变式传感器，其中，在手臂的内部设置有气体通路，且该气体通路的一端延伸至手指的下表面，通过对气体通路抽真空而使晶片被吸附在手指的下表面，应变...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。