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本发明涉及半导体领域,尤其涉及一种提高半导体结构侧剖面平整度的方法,半导体结构包括上下键合的第一功能层和第二功能层,第二功能层背向第一功能层的表面具有凸起的锡球,其特征在于,包括:步骤S1,采用酸液去除第二功能层的表面的锡球;步骤S2,对去...该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体领域,尤其涉及一种提高半导体结构侧剖面平整度的方法,半导体结构包括上下键合的第一功能层和第二功能层,第二功能层背向第一功能层的表面具有凸起的锡球,其特征在于,包括:步骤S1,采用酸液去除第二功能层的表面的锡球;步骤S2,对去...