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面向于多种结构特征的多自由度宏微结合集成检测装置制造方法及图纸
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下载面向于多种结构特征的多自由度宏微结合集成检测装置的技术资料
文档序号:16186719
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本发明公开了一种面向于多种结构特征的多自由度宏微结合集成检测装置,该装置包括位姿调整机构、快换夹持机构、视觉检测机构和基座;位姿调整机构能实现水平面内的x轴、y轴方向和垂直于xy平面的z轴方向的直线运动,位姿调整机构实现绕x轴±90°转动,...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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