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激光切割用粘合片以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:16178848
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本发明提供一种透过粘合片照射激光进行的激光切割时,可抑制粘合片上的激光的散射,且在粘合片上易于通过扩张进行芯片分割,并且,可抑制在芯片分割时产生的粉尘的附着,成品率良好的芯片的激光切割用粘合片。本发明提供一种激光切割用粘合片,其特征为基材膜...
该专利属于电化株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过电化株式会社授权不得商用。
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