下载一种薄膜压力传感器的技术资料

文档序号:16133165

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本实用新型涉及压力传感器技术领域,更具体地,涉及一种薄膜压力传感器,该薄膜压力传感器包括弹性基座、绝缘层、薄膜应变电阻、电极区、钝化层及金薄膜;所述绝缘层设于弹性基座上,且绝缘层为厚膜绝缘介质浆料层;薄膜应变电阻及电极区均设于所述绝缘层上;...
该专利属于广东海洋大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东海洋大学授权不得商用。

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