The utility model relates to the technical field of pressure sensor, more specifically, relates to a thin film pressure sensor, the pressure sensor comprises an elastic base film, an insulating layer, thin film strain resistance, electrode area, passivation layer and gold thin film; the insulating layer is arranged on the elastic base, and the insulating layer for thick film dielectric paste layer; thin film strain resistance and electrode area are arranged on the insulating layer; thin film strain resistance and insulation exposed surface layer are arranged on the passivation layer; the gold thin film arranged on the electrode to form the electrode welding zone area. The utility model relates to a thin film pressure sensor, dielectric paste layer by using thick film, the elastic base without grinding and polishing processing can be arranged on the thick film dielectric slurry layer, in order to achieve the insulation base and the elastic thin film strain resistance and electrode area, low preparation cost, high preparation efficiency, and has high precision and high stability.
【技术实现步骤摘要】
一种薄膜压力传感器
本技术涉及压力传感器
,更具体地,涉及一种薄膜压力传感器。
技术介绍
薄膜压力传感器是随着薄膜技术和半导体工艺技术的进步而逐渐发展起来的新型压力传感器,也被称为第三代压力传感器,它具有精度高、稳定性好、耐恶劣环境(高温、腐蚀、振动)等优点,在航空航天、军事装备、石油化工、工程机械等领域有着广泛的应用。现有的薄膜压力传感器是在精细表面处理的不锈钢弹性基座上溅射绝缘层(二氧化硅等)来实现不锈钢弹性基座与薄膜应变电阻层的绝缘。弹性基座要经过严格的粗磨、细磨及抛光处理,弹性基座的表面粗糙度要求小于0.1μm,研磨抛光工艺是采用不同的机械设备进行的,每批数量小,耗时长,效率低;绝缘层需要在高真空中长时间溅射,因此不锈钢弹性基座薄膜压力传感器的弹性基座的表面处理和绝缘层的加工与制备成本高、效率低。随着现代厚膜技术的发展,介质浆料和烧结工艺有着显著的提高,厚膜浆料的绝缘电阻能够大于1010Ώ;不锈钢弹性基座经过简单的表面处理后,在其表面涂覆介质浆料并在850℃-860℃进行短时间的烧结,就能达到传感器绝缘的要求,厚膜介质浆料不需要不锈钢弹性基座表面进行严格的表面加工,也不受真空设备的限制,加工时间短,因此其加工成本低、效率高、成品率高,能够大批量生产;但是使用厚膜技术制备厚膜应变电阻,厚膜应变电阻将受到电阻浆料的成分、印刷电阻条边缘效应、烧结工艺的影响,使得厚膜应变电阻传感器存在精度低、稳定性差等缺点。因此,开发一种制备成本低、制备效率高,且具有高精度、高稳定性的压力传感器极其重要。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种薄膜压力传 ...
【技术保护点】
一种薄膜压力传感器,其特征在于,包括弹性基座(1)、绝缘层(2)、薄膜应变电阻(3)、电极区(4)、钝化层(5)及金薄膜(6);所述绝缘层(2)设于弹性基座(1)上,且绝缘层(2)为厚膜绝缘介质浆料层;薄膜应变电阻(3)及电极区(4)均设于所述绝缘层(2)上;薄膜应变电阻(3)及表面暴露的绝缘层(2)上均设有钝化层(5);所述金薄膜(6)设于电极区(4)上以形成电极焊接区。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜压力传感器,其特征在于,包括弹性基座(1)、绝缘层(2)、薄膜应变电阻(3)、电极区(4)、钝化层(5)及金薄膜(6);所述绝缘层(2)设于弹性基座(1)上,且绝缘层(2)为厚膜绝缘介质浆料层;薄膜应变电阻(3)及电极区(4)均设于所述绝缘层(2)上;薄膜应变电阻(3)及表面暴露的绝缘层(2)上均设有钝化层(5);所述金薄膜(6)设于电极区(4)上以形成电极焊接区。2.根据权利要求1所述的一种薄膜压力传感器,其特征在于,所述钝化层(5)为四氮化三硅钝化层(5)。3.根据权利要求2所述的一种薄膜压力传感器,其特征在于,所述四氮化三硅钝化层(5)的厚度为0.3~0.5μm。4.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭银桥,雷桂斌,甘元驹,付东洋,王淑青,陈月峰,
申请(专利权)人:广东海洋大学,
类型:新型
国别省市:广东,44
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